河南實(shí)驗室凈化工程分類(lèi)：

　　一、凈化工程亂流式

　　空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈工程室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

　　亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來(lái)流到出流之間氣流的流通截面是變化的。潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以，送風(fēng)口以后的流線(xiàn)彼此有很大或者越來(lái)越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動(dòng)，將會(huì )彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chǎn)生。

　　優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。

　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。

　　二、凈化層流式

　　層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

　　(1)垂直層流式：房間天花板以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì )影響其它工作區域。

　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

　　(2)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

　　優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。

　　缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

　　三、凈化工程復合式

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

　　(2)潔凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易；B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。

　　(3)并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。

　　在凈化工程的設計施工中，要注意以下幾點(diǎn)凈化過(guò)程是一個(gè)循環(huán)的過(guò)程。在生產(chǎn)、使用過(guò)程中，要充分利用這個(gè)循環(huán)。這就需要設計人員對所選材料及其制造方法進(jìn)行科學(xué)的研究與論證。凈化過(guò)程中應注意防止產(chǎn)品受到污染。由于硅芯片是高密度聚乙烯材料，其表面光潔度較低。因此，應在硅芯片表面涂一層特殊的防腐劑。這樣，就能有效地防止硅芯片受到污染。在生產(chǎn)過(guò)程中還應注意使用環(huán)保型的水泥。這種水泥可以用于高溫、高濕度和低溫作業(yè)。由于硅芯片是高密度聚乙烯材料中常見(jiàn)的材料之一。因此，在生產(chǎn)過(guò)程中要注意防止產(chǎn)品受到污染。